超薄切割片自然是按照切割片的厚薄分出来的类别,而超薄切割片一般的固化树脂方式有两种:热固化树脂和光固化树脂,但是目前随着技术的进步,光固化逐渐开始取代热固化。
光固化树脂是光交联性聚合物,引发剂以及添加剂组成。它和热固化树脂本质的区别在于其固化的过程是靠吸收相应波长的光辐射而引起的化学反应,使光固化树脂从液体转变为固体。
它从液体转变为固体是分子量增加的结果,而不是溶剂挥发所造成的,故具有快速固化、节省能源的优点,但制约因素是其原材料价格较高。运用光固化树脂法制造超薄切割片方面,我国利用光固化树脂作为结合剂研制成功厚度为0.15mm的超薄型金刚石切割砂轮,并成功地完成了对单晶硅片的切割试验。
从上面可以看出光固化树脂法在很多方面明显优于热固化树脂法,这也是它逐渐取代热固化树脂法的原因。